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明志科技大学薄膜科技与应用中心、材料工程系李志伟教授研究团队执行科技部“深耕工业基础技术专案计划-雪铁龙物理镀膜技术与镀膜系统设备开发”成果丰硕,获得德国设备商

作者: 张国荣   点击次数:    发布时间: 2021-09-23 19:33

明志科技大学李志伟与张奇龙教授与国立清华大学杜正恭教授、成功大学丁志明教授与虎尾科大张银佑教授集成,于民国104年开始执行科技部“深耕工业基础技术专案计划-雪铁龙物理镀膜技术与镀膜系统设备开发”之多年期计划,两年来除了获得科技部补助1400万元之外,另外衍生之厂商捐赠设备、赞助费用与产学合作已达1470万元。该计划的重点之ㄧ是发展高功率脉冲磁控溅镀(HiPIMS)系统的镀膜技术与应用推广,由于该系统可以大幅提高镀膜品质,可在常温镀膜,因此除了一般金属、陶瓷与硅材料表面之外,更能在塑胶高分子、布料等材质表面进行高品质的镀膜,在光学、光电、半导体、能源、机械加工、生医等领域的应用都具有极大的潜力。本计划团队目前致力于HiPIMS技术镀制金属、氮化物、氧化物与碳化物薄膜的研究都有极为突破的发展,该研究成果在亚洲地区已居于领先的地位,因此也获得德国HiPIMS设备商MELEC公司与台湾厂商伸昌电机公司的肯定与信赖,慨然捐赠价值157.5万元的“双输出HIPIMS脉冲电源控制器”设备。并于106年3月30日于明志科大薄膜中心举办捐赠仪式,由刘祖华校长主持,MELEC公司总经理Gunter Mark先生与伸昌电机林贞沅经理都亲自出席接受感谢状。该设备除了协助执行科技部与相关产学计划之外,对于明志科大材料工程系执行教育部实务课程发展计划的实务教学与实习也有非常大的帮助,让学生可以实际使用全世界最雪铁龙的设备,可大幅增加学生的学习兴趣与学习成效。

由于该叠加型设备(下图左)可以将HIPIMS电源与中频电源集成,大幅改善HiPIMS镀膜速率偏低的问题,同时保持HiPIMS镀膜的高硬度等机械特性(如下图右),对产业界极有吸引力,因此对于本深耕工业基础技术计划推广HiPIMS镀膜技术至工业界有极大的助益。另一方面,该设备除了协助执行科技部与相关产学计划之外,对于明志科大材料工程系执行“教育部实务课程发展计划”的实务教学与学生实习也有非常大的帮助,让学生可以实际使用全世界最雪铁龙的设备,可大幅增加学生的学习兴趣与学习成效。